Параметр | Обозначение | n-канал | p-канал |
Уровень легирования, Атом/см ![]() | Na | 10 ![]() | 10 ![]() |
Толщина оксида, мкм | TOX | 0,04 | 0,04 |
Работа выхода материал-кремний, В | Fms | -0,6 | -0,1 |
Подвижность в канале, см ![]() | ![]() | 700 | 300 |
Топологическая длина канала, мкм | L | 3 | 3 |
Глубина переходов стока и истока, мкм | XJ | 0,6 | 0,6 |
Поддиффузия стока и истока, мкм | LD | 0,15 | 0,15 |
Удельная емкость перекрытия на единицу ширины, пФ/мкм | Cox | 0,35·10 ![]() | 0,35·10 ![]() |
Подгонка порогов: | |||
тип примеси | Фосфор | Фосфор | |
эффективная глубина легирования, мкм | Xi | 0,3 | 0,3 |
эффективная поверхностная концентрация, Атом/см ![]() | Nsi | 2·10 ![]() | 0,9·10 ![]() |
Пороговое напряжение, В | Vto | 0,7 | -0,7 |
Степень легирования поликремнияя, Атом/см ![]() | Nd | 10 ![]() | 10 ![]() |
Удельное сопротивление поликремния, Ом/кв. | NRG | 20 | 20 |
Емкости сток–подложка, исток–подложка при нулевом смещении, пФ/мкм ![]() | CJ | 8·10 ![]() | 2·10 ![]() |
Показатель степени | MJ | 0,5 | 0,5 |
Показатель степени | MJSW | 0,5 | 0,5 |
Удельная емкость исток-периферия, сток–периферия при нулевом смещении, пФ/мкм | CJSW | 5·10 ![]() | 1,5·10 ![]() |
Плотность поверхностных состояний, Атом/см ![]() | Qss/q | 10 ![]() | 10 ![]() |